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分子泵使用中有哪些注意事項？2.一文了解分子泵在半導體行業(yè)的應用3.如何科學(xué)地獲得超高真空？4.國際熱核聚變試驗堆（ITER）的真空結構5.一千多臺樣泵用于各項測試，僅選很優(yōu)方案，揭秘新型分子泵測試方法；真空聚焦真空行業(yè)新媒體平臺：渦輪分子泵應用于質(zhì)譜系統分子泵應用于緊湊型質(zhì)譜系統。

質(zhì)譜分析是指與質(zhì)譜分析相結合的一種核分析技術(shù),用于實(shí)現同位素比值的測定.需要清潔無(wú)油的高真空環(huán)境,一般采用干泵配備渦輪分子泵實(shí)現高真空環(huán)境.質(zhì)譜系統需要分子泵抽真空原因:1.電子加速運動(dòng)的需要;2.電子正常工作的需要;3.加速管微波電場(chǎng)的需要(避免加速管中出現微波打火,必須抽到高真空). 中科院某大型科技工程項目,工程的主體建筑是三大:一臺150MeV（1.5億電子伏特）的電子直線(xiàn)、一臺能在0.5秒內把電子束能量從150MeV提升到3.5GeV（35億電子伏特）的量增強器，以及一臺周長(cháng)432米的3.5GeV電子儲存環(huán)，

經(jīng)過(guò)技術(shù)推薦，成功采購愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵和干泵，渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實(shí)踐證明渦輪分子泵運行時(shí)間可以達到100,000小時(shí)!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿(mǎn)足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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半導體產(chǎn)業(yè)鏈IC制造行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)，產(chǎn)品技術(shù)含量非常高，同時(shí)對配套產(chǎn)業(yè)要求較高，其中就包括真空設備配套產(chǎn)業(yè)。真空設備（真空閥、真空泵、真空腔體及管道等）是半導體各工藝制程環(huán)節必備的通用設備，廣泛應用于芯片生產(chǎn)制造過(guò)程。  半導體制造設備及工藝流程半導體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復雜，需要在高純度硅片上執行一系列精密的物理或者化學(xué)操作，例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。

這些復雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，而且對真空系統和真空設備的潔凈度也有著(zhù)很高的要求。分子泵在半導體設備中的應用.在半導體生產(chǎn)制造工藝中，分子泵廣泛應用于光刻機、薄膜沉積設備、刻蝕設備、離子注入機等關(guān)鍵設備。光刻機光刻機是生產(chǎn)大規模集成電路的設備，制造和維護需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎，世界上只有少數廠(chǎng)家掌握，因此光刻機價(jià)格昂貴。

光刻機光刻過(guò)程必須在高真空環(huán)境中實(shí)現，原因是極紫外光很嬌貴，在空氣中容易損耗。同時(shí)，在光刻過(guò)程中，設備的動(dòng)作時(shí)間誤差以皮秒計，這對磁懸浮分子泵的振動(dòng)值要求極高。（注：皮秒=兆分之一秒）薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜，這些薄膜可以是絕緣體、半導體或導體。它們由不同的材料組成，是使用多種工藝生長(cháng)或沉積的。

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渦輪分子泵與油擴散泵相比具有啟動(dòng)快,有機蒸汽污染少和極限真空高等特點(diǎn).因此在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統,即使檢漏儀不用液氮冷阱,質(zhì)譜室也不致嚴重沾污,并能保持較低的本底或雜聲.這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩定性的提高,并且延長(cháng)離子源的使用壽命.

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問(wèn)題，而且對快速啟動(dòng)儀器和快速停機做出了很大貢獻。氦質(zhì)譜檢漏儀中沒(méi)有手動(dòng)閥，現已采用自控閥自動(dòng)調節運轉時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴散泵，以消除可能造成的油返流。計算機技術(shù)也在檢漏儀中獲得應用。運轉、控制和輸出數據均由計算機自動(dòng)操作完成。

我們都知道，旋轉機械的不平衡是引起振動(dòng)的常見(jiàn)原因之一，由此產(chǎn)生的振動(dòng)力取決于旋轉速度以及不平衡的程度。而在高速旋轉的機械中，不平衡則是非常嚴重的問(wèn)題。尤其對轉子速度高達90000rpm（1500rpm/sec）的渦輪分子泵而言，對于動(dòng)平衡品質(zhì)的要求極高，哪怕是幾毫克范圍內輕微的不平衡，都會(huì )對泵的運行產(chǎn)生重大影響。因此，渦輪分子泵的轉子需要做精密的動(dòng)平衡，品質(zhì)好的動(dòng)平衡既關(guān)系到轉子的平穩運行，也關(guān)系到渦輪分子泵的磨損，還可確保將傳遞到真空腔室和用戶(hù)應用系統上的振動(dòng)降至很低。

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